ULVAC 油回転真空ポンプ G5DA [r20][s9-833]

　ULVAC 油回転真空ポンプ G5DA ■特長 ・ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。 ・モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。 ・2段式は2回の吸入圧縮排気により1段式より良い真空が得られます。 ■用途 ・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。 ・真空排気装置、電子顕微鏡のバック。 ・半導体製造装置。 ・真空蒸着装置、凍結乾燥器。 ・医療用機器全般。 ■仕様 ・排気速度(L/min)50/60Hz:5/6 ・到達圧力(Pa):6.7 ・吸気口径(mm):12 ・電源(V):単相100 ・寸法(mm):130×203×159.5 ・騒音値(dB):- ・吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6 ・質量(kg):5 ・サーマルプロテクタ付 ・排気速度50/60Hz(L/min):5/6 ・吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6 ・最大寸法(mm):130(W)×203(L)×159.5(H) ■注意 ・油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。 ・停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。 ・大気圧近くでの連続運転には不適当です。 ■原産国 日本 ■質量 5kg ■メーカー アルバック機工(株) ■ブランド ULVAC