送料無料！！【エフコン FCON】マスフローコントローラー 100SCCM-He 3-5067-04 C1005 メーカー直送 代引不可【smtb-u】

※送料無料対象商品のみのご注文で送料無料になります。（沖縄・一部離島等は対象外となります）送料有料の商品と同時にご注文の場合は送料が発生いたします。ご了承ください。▼こちらの商品に関するご注意事項━━━━━━━━━━━━━こちらの商品は代引きでのお申し込みはお受けしておりません。【特徴】●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。●スタート時のフローサージ現象を抑制します。【仕様】●型番:C1005●フルスケール流量-ガス種:100SCCM-He●ガス種類:He●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15〜35℃)●応答性:6sec●流量制御範囲:5〜100%FS●入出力:アナログ信号(0〜5VDC)●バルブ形式:N/Oノーマルオープン●再現性:±0.2%FS●動作圧力範囲:50〜300kPa●耐圧:1MPa(G)●外部リークレート:1×10-7Pa・m3/sec(He)以下●接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム●接続:1/4in.SWL相当●電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA●通信方式:アナログ0〜5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)●サイズ:127×25.5×100mm※こちらの商品は、メーカーでの長期欠品や生産終了を理由に、ご注文をキャンセルさせて頂く場合もございますので、あらかじめご了承願います。